Ученые из ИХТЦ ТГУ впервые в стране выпустили первую партию дигидрата тартрата натрия для микроэлектроники. Производительность установки – несколько сотен килограммов вещества в год. Вложения в проект оцениваются в 150 млн рублей.
Важный очиститель
Дигидрат тартрата натрия играет важную роль на одном из самых точных и ответственных этапов производства – химико-механической планаризации (ХМП или CMP).
Современные микропроцессоры и чипы памяти состоят из множества слоев, соединенных между собой микроскопическими медными проводниками. После нанесения меди на пластину ее поверхность становится неровной. Задача ХМП – убрать излишки меди и выровнять поверхность до идеальной гладкости. После чего наносится следующий слой.
Вот тут дигидрат тартрата натрия и играет ключевую роль – полирующей суспензии для меди.
Задача выполнена

В условиях импортозамещения и курса на технологическую независимость в 2024 году началась разработка собственной методики синтеза натрия тартрата дигидрата. Драйвером послужило прекращение его зарубежных поставок.
Реализацией проекта занялся ИХТЦ ТГ. И уже в сентябре этого года ученые ввели в эксплуатацию первую в стране опытно-промышленную линию по выпуску соединения высшей категории чистоты «ХЧ» (химически чистый). На этапе запуска проектная мощность линии исчисляется сотнями килограммов готового продукта ежегодно.
По оценкам разработчиков, текущий объем выпуска способен в полной мере удовлетворить годовой спрос отечественных производителей микроэлектроники.
Идеальный результат

Экспертно-аналитическая экспертиза, проведенная специалистами Томского государственного университета, зафиксировала исключительно высокие показатели чистоты вещества.
Продукт продемонстрировал 100%-е соответствие регламентированным нормам по всем критически важным критериям, в числе которых массовая доля основного компонента, концентрация сульфат-ионов и уровень нерастворимых в водной среде примесей.
Первым потребителем продукта станет АО «Светлана-Электронприбор» (Санкт-Петербург), которое уже готово внедрить отечественный тартрат натрия в свой технологический процесс.
Контекст рынка
Мировой рынок тартрата натрия и родственных соединений демонстрирует устойчивый рост. Согласно отчетам аналитических агентств, рынок тартрата натрия-калия оценивался в 150 млн долларов в 2024 году и, как ожидается, достигнет 250 млн долларов к 2033 году.
Основные драйверы роста рынка – пищевая промышленность (стабилизатор и регулятор кислотности), фармацевтика, аналитическая химия и, конечно, возрастающие потребности микроэлектронной промышленности.
Также подписывайтесь на обновления Производства.рф во Вконтакте, Одноклассниках, Телеграме и Дзене.